Устройство для возбуждения разряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы

БЕЛАРЬ ПАТЕНТ Не 3/2государственный комитет ссор по делам иаовРЕтЕний и отнРытии(71) Институт электроники АН БССР(54) устройство для возвзпкцвния РАЗРЯДА в глмпульсном ГЕНЕРАТОРЕ элвктго ЭР 0 ЗИ 0 НН 0 Й 1 ПЛАЗМЫ(57) Устройство для возбуждения разряде в ипульсном генераторе электрод эрозионной плазмы относится к облас ти электротехники. Цель изобретенияповышение надежности устройства и увеличение срока службы. Устройство для возбуждения разряда в.импульсном генератореэлектроэрозионной плазмы,содержащее охватывающий цилиндрический катод генератора вблизи его рабочего торца, кольцевой изолятор,поверхность которого, обращенная в0 дНУСТ 0 Р 0 НУ с рабочим торцом каточ да, снабжена тонкопленочным токопро водом, имеющим локальный контакт с катодом, кольцевой поджигающий элекТрОдконтактирующий с тонкопленочнъш токопроводом, и механизм перемещения изолятора, включающий держатель изолятора и расположенную коаксиально 5 катоду выполненную с возможностью1 вращения относительно своей оси цидЛИНдРИЧгСКУЮ втулку, снабженную свяд ванным с ней посредством пружинящего элементароликомвзаимодействующим с держателем изолятора и обеспечивающим Прижим изолятора к доковой поверхноСТИ катода, Оснащено сферическим-или шарнирным подшипником, одно из колец которого установлено соосно с като (Э ДОМ И закреплено, а держатель изолятора смонтирован на. подвижном кольце С подшипника соосно с нимри соединен 3может быть использовано в вакуумных сильноточных электрораэрядныхустрой ствах технологического назначения,- Ь-1 нанесения тонких пленок и покрытии. 1 ил.Изобретение относится к электротехнике, предназначено для возбуждения раэряда в импульсных генераторах электроэрозионной плазмы и может быть ИСПОЛЬЗОЕЗНО В ВЗКУУМНЫХ СИЛЬ 5НОТОЧНЪШ ЭПЕКТРОРЗЗРЯДНЬП УСТРОЙСТ СТВЗ ТЭХНСЛОГИЧВСКОГО назначения, например, для вакуумно-плазменного нанесения тонких пленок и покрытий. 10зЦельюнзобретения является повы ШЕНИЕ-ЗДЕЖНОТИ устройства И УВЕ,личение срока сдджбы На чертежепоказано одно из возмодныкустройствдлявоэбуждения раз-15 ряда в импульсном генераторе электроэрозионной плазмы. 1 Устройство содержит охватывающий цилиндрический катод 1 генератора вблизи его рабочего торца 2, кольце- 20 вой изолятор 3 и кольцевой поджигающий электрод 4 Диаметр отверстия в изоляторе З превышает диаметр катода 1. Поверхность изолятора 3, обращенная-водну сторонус рабочим 25 торцом 2 катода 1, снабжена тонко- . пленочным токопроводом 5. Вторьв 1 раз- р рядным электродом генератора является его анод 6. Тонкопленочный токопровод 5 контактируетс катодом 1 и 30 поджигающим электродом 4. Контакт 7 тонкопленочного токопровода 5 с катодом 1 является локальньш. Устройство содержит механизм перемещения изолятора 3 который вклю- 35 чает держатель 8 изолятора 3 и снабженную роликом 9 цилиндрическую втулку 10, расположенную коаксиально катоду 1 и выполненную с возможностью.вращения относительно своей оси.4 о Ролик 9 связан с цилиндрической втулкой 10 посредством пружинящего элемента 11. Устройство оснащено сферическим (илилпарнирным) подшипником 12. Одно кольцо 13 подшипника 12 установ 45 лено соосно с катодом 1 и жестко закреплено. На подвином кольце 14 подшипника 12 смонтирован держатель 8 изолятора З. Такое решение обеспечивает вэаимодействне ролика 9 с дер-50 жателем 8 изолятора 3 и прижим изолятора 3 к боковой поверхности катода 1 вблизи его рабочего торца 2 с образованием локального контакта 7 тонкопленочного токопровода 5 с ка- 55 тодом 1, при этом изолятор 3 расположен эксцентрично относительно катода 1, а ось подвижного кольца 14 подшипника 12 отклонена на угол ыот оси его неподвижного кольца 13,совпадающей с осью цилиндрического катода 1 генератора.Величина угла Ы. определяется разностью диаметров отверстий в изоляторе и катоде (П 13) и расстоянием от центра О отверстия в изоляторе 3 до центра 01 подшипника 12 точки пересечения осей неподвижного и подвижного колец 13 и 14.Держатель 8 изолятора 3 соединен с поджигающим электродом 4, напримерд при помощи одного из видов разъемно 7. ГО СОЕДИНЕНИЯ, обеспечивающего ПЛОТ ный прижим поджигающего электрода 4 к поверхности тонкопленочного токопровода 5. В корпусе 15 генератора вакуумплотно смонтирован ввод вращения, служащий для передачи вращательного движения цилиндрической втулке 10. Питание устройства и генератора осуществляется от управляемого импульсного источника питания,выводы которого электрически связаны с катодом 1, поджигающим электродом 4 и анодом 6.Устройство работает следующим образом.Приводят во вращение.цилиндричес кую втулку 10, кинематически связанную с держателем 8 изолятора 3 посредством пружинящего элемента 11 и ролика 9. Так как-ролик 9 катится на боковой поверхности держателя 8 изолятора 3 смонтированного на подвижном кольце 14 сферического(илишарФ нирного) подшипника 12, допускающего две степени свободы перемещения подвижного кольца 14 (возможность вращения вокругсвоейосихавоэможностькачанияотносительноцентраСц подшипника), держатель 8 изолятора З совершает сложное двиение в пространстве, при котором изолятор З плавно (без рыв ков и-нарушения локального контакта 7 тонкопленочного токопровода 5 с катодом 1) обкатывает катод 1 вблизи кромки его рабочего торца 2, поскольку при этом Медленное вращение подвижного кольца 14 подшипника 12 обеспечивает РЗВЕНСТВО ПУТЕЙ перемещения МЕСТЕ КОНТЗКТЗ ТОНКЙПЛЕНОЧНОГО ТОКОчному токопроводу 5, так и по катоду Д. С помощью управляемого импульсно 3 1291009 4ГО ИСТОЧНИКЗ ПИТННИЯ ПЕРИОДИЧЕСКИподают импульс напряжения на межэле ктрддный.промежуток катод 1 анодегенератора и пропускают импульс то- ка через тонкопленочный токопровод 5. 5 Протекание импульса тока через тонкопленочныи токопровод 5 вызываетэлектровэрывное испарение его материала, сопровождающееся образованием инициирующей плазмы, заполняющеймежэлектродный промежуток генератора, З ПОСКОЛЬКУ У НЕМУ ПРНЛОЖЕН 0 ИМПУЛЬ сное напряжение, в генераторевозбуж дается импульсньй вакуумньй сильно точны разряд, его горение сопровождается генерированием электроэрозионной плазмы, некоторая доля которой осаждается на поверхности изолятора 3, восстанавливая тоикопленочный токопровод 5 и делая тем самы возМОЖНЫ ОСУЩЭСТВЛЕНИЕ ОЧСРЕДНОГО ВОЗбуждеиия разряда в генераторе Ка- л тод 1 подают по мере-его выработки-службы, кон, при помощи системы подачи, предусмотренной в генераторе, благодарячемусохраняетсяпостоянство расстояния от кромки рабочего торца 2 като да 1 до поверхности тонкопленочного токопровода 5 в месте контакта его с катодом 1.Устройство для возбуждения разряда а импульсном генераторе электроэрозионной плазмы по авт.св.Ж 1168070, о т л и ч а ю щ е е с я тем 3 то, с целью повышения надежности устройства н увеличениясрока оно дополнительно снабжено сферически или шарнирным подшипниодно из колец которого установлено соосно с катодом и закреплено,а держатель изолятора смонтированна ПОДВИЖНОМ КОЛЬЦЕ ПОДШНПНИКЗ СОВНИМШИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж 35 Раушская наб. д.4/5