Петухов Юрий Александрович
Способ формирования силицидов металлов
Номер патента: 13882
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Углов Владимир Васильевич, Подсобей Григорий Захарович, Петухов Юрий Александрович, Асташинский Валентин Миронович, Квасов Николай Трофимович, Черенда Николай Николаевич
МПК: C01B 33/00, H01L 21/02
Метки: металлов, формирования, силицидов, способ
Текст:
...индукцией от 0,22 до 12,5 мТл. При таком способе формирования силицидов металлов достигается глубокое проплавление металла и кремния и их эффективное перемешивание, что обеспечивает формирование глубокого однородного силицидного слоя, и, соответственно, уменьшение удельного поверхностного сопротивления. Исключение необходимой в известном способе операции аморфизации кремния упрощает способ. Заявляемый способ осуществляют следующим образом. На...