Квасов Николай Трофимович
Способ формирования силицидов металлов
Номер патента: 13882
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Асташинский Валентин Миронович, Квасов Николай Трофимович, Петухов Юрий Александрович, Черенда Николай Николаевич, Углов Владимир Васильевич, Подсобей Григорий Захарович
МПК: H01L 21/02, C01B 33/00
Метки: металлов, формирования, способ, силицидов
Текст:
...индукцией от 0,22 до 12,5 мТл. При таком способе формирования силицидов металлов достигается глубокое проплавление металла и кремния и их эффективное перемешивание, что обеспечивает формирование глубокого однородного силицидного слоя, и, соответственно, уменьшение удельного поверхностного сопротивления. Исключение необходимой в известном способе операции аморфизации кремния упрощает способ. Заявляемый способ осуществляют следующим образом. На...