Кулешов Василий Николаевич
Способ изготовления тонкопленочного покрытия из оксида тантала с электретными свойствами
Номер патента: 17507
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Бурмаков Александр Пантелеевич, Кулешов Василий Николаевич
МПК: A61L 31/08, A61B 17/56, A61L 27/00...
Метки: электретными, изготовления, покрытия, способ, тонкопленочного, свойствами, оксида, тантала
Текст:
...2 с танталовой мишенью и источником питания 3, заземленного экрана 4, проводящей сетки 5, подложкодержателя 6, на котором размещена подложка 7. 3 17507 1 2013.08.30 Напуск рабочих газов аргона и кислорода осуществляется с помощью натекателей 8 и 9. Измерение давления в вакуумной камере 1 производят с помощью датчика давления 10. Направление откачки для создания вакуума показано стрелкой. На фиг. 2 показаны м - источник питания магнетрона 1...