Патенты с меткой «электретными»
Способ изготовления тонкопленочного покрытия из оксида тантала с электретными свойствами
Номер патента: 17507
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Кулешов Василий Николаевич, Бурмаков Александр Пантелеевич
МПК: A61B 17/56, A61L 27/00, A61L 31/08...
Метки: покрытия, свойствами, изготовления, тантала, тонкопленочного, способ, оксида, электретными
Текст:
...2 с танталовой мишенью и источником питания 3, заземленного экрана 4, проводящей сетки 5, подложкодержателя 6, на котором размещена подложка 7. 3 17507 1 2013.08.30 Напуск рабочих газов аргона и кислорода осуществляется с помощью натекателей 8 и 9. Измерение давления в вакуумной камере 1 производят с помощью датчика давления 10. Направление откачки для создания вакуума показано стрелкой. На фиг. 2 показаны м - источник питания магнетрона 1...