Холостов Константин Игоревич
Миниатюрный топливный элемент, батарея на основе миниатюрных топливных элементов и способы их изготовления
Номер патента: 17356
Опубликовано: 30.08.2013
Авторы: Клышко Алексей Александрович, Чубенко Евгений Борисович, Бондаренко Виталий Парфирович, Холостов Константин Игоревич
МПК: H01M 8/00
Метки: основе, миниатюрных, изготовления, способы, батарея, топливных, миниатюрный, топливный, элемент, элементов
Текст:
...выполнены в виде пленок пористого кремния толщиной 30-100 мкм, содержащих газ-диффузионный слой, а слой катализатора выполнен толщиной 1-5 мкм. 2. Способ изготовления миниатюрного топливного элемента по п. 1, в котором используют две пластины монокристаллического кремния, на планарную сторону каждой из которых наносят маскирующий слой нитрида кремния, на котором фотолитографией и травлением формируют рисунок слоя пористого кремния,...