H01L 21/363 — с использованием физического осаждения, например вакуумного осаждения или напыления
Прессованная мишень из спеченных оксидов для распыления и способ ее получения
Номер патента: 16272
Опубликовано: 30.08.2012
Авторы: ОЦУКА, Хироаки, ОСАДА, Кодзо
МПК: C04B 35/01, C04B 35/453, C23C 14/08...
Метки: способ, прессованная, оксидов, распыления, мишень, спеченных, получения
Текст:
...и гибкой полимерной пленки, возникает проблема, заключающаяся в том, что диапазон вариантов материала для подложки является ограниченным. Кроме того, имеются недостатки с точки зрения производительности, поскольку процесс изготовления устройств при высоких температурах требует больших затрат на энергию и много времени на процесс нагревания.В свете вышесказанного, в последнее время производится разработка тонкопленочного транзистора с...