H01J 23/02 — электроды; магнитные управляющие элементы; экраны

Номер патента: U 5501

Опубликовано: 30.08.2009

Авторы: Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович

МПК: H01J 23/02, C23C 14/35

Метки: магнетронного, нанесения, многокомпонентных, катод, покрытий

Текст:

...(коэффициентов распыления) со значением напряженности магнитного поля на поверхности катода, что достигается размещением вставок из разнородных материалов в зоне эрозии матрицы в областях с различным уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается за счет того, что в катоде для магнетронного нанесения многокомпонентных покрытий, состоящем из выполненной в виде диска или прямоугольной пластины плоской матрицы,...