H01J 23/00 — Конструктивные элементы приборов с использованием времени пролета электронов, отнесенных к группе
Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени
Номер патента: 13826
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович, Агеев Виталий Александрович
МПК: H01J 23/00, C23C 14/35
Метки: ионно-плазменного, пленочных, мозаичная, мишени, способ, нанесения, магнетронного, покрытий, многокомпонентных, мишень, изготовления
Текст:
...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...