Патенты с меткой «мозаичная»
Мозаичная мишень для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий и способ изготовления мишени
Номер патента: 13826
Опубликовано: 30.12.2010
Авторы: Агеев Виталий Александрович, Вершина Алексей Константинович, Копылов Андрей Владимирович
МПК: C23C 14/35, H01J 23/00
Метки: магнетронного, нанесения, мишени, ионно-плазменного, мишень, пленочных, мозаичная, многокомпонентных, покрытий, изготовления, способ
Текст:
...уровнем напряженности магнитного поля. Поставленная задача решается тем, что в мозаичной мишени для ионно-плазменного магнетронного нанесения многокомпонентных пленочных покрытий, содержащей плоскую матрицу, закрепленную на охлаждаемом основании, и размещенные на матрице в зоне эрозии мишени равномерно вдоль проекции силовых линий магнитного поля вставки, выполненные в виде концентрических колец или прямоугольных рамок из напыляемых...