Галдецкий Александр Васильевич
Планарное электростатическое микрореле (варианты)
Номер патента: 5486
Опубликовано: 30.09.2003
Авторы: Мухуров Николай Иванович, Галдецкий Александр Васильевич, Ефремов Георгий Игнатьевич
МПК: H01H 59/00
Метки: планарное, варианты, электростатическое, микрореле
Текст:
...важно, ширины межэлектродного промежутка ,толщиныи длиныдиэлектрического консольного упругого якоря, высоты выступа на свободном конце якоря с подвижным тонкопленочным контактом управляемой цепи. Нанесение токопроводящих металлических тонких пленок на две противоположные или на все четыре поверхности диэлектрического упругого консольного якоря обеспечивает в последнем при температурных перепадах симметричное распределение механических...