Патенты с меткой «планарное»

Номер патента: 9717

Опубликовано: 30.08.2007

Авторы: Мухуров Николай Иванович, Ефремов Георгий Игнатьевич

МПК: H01L 21/02, H01H 59/00

Метки: электростатическое, планарное, микрореле

Текст:

...1 - диэлектрическая подложка,2 - диэлектрический якорь,3 - паз,4 - диэлектрическая площадка,5 - неподвижный выступ,6 - параллельная сторона якоря,7 - поперечная сторона якоря,8 - подвижный выступ,9 - выступ,10 - лепесток,11 - неподвижный управляющий тонкопленочный электрод,12 - подвижный управляющий тонкопленочный электрод,13 - тонкопленочная контактная дорожка,14 - тонкопленочная контактная площадка,15 - подвижный тонкопленочный контакт...

Номер патента: 5486

Опубликовано: 30.09.2003

Авторы: Мухуров Николай Иванович, Галдецкий Александр Васильевич, Ефремов Георгий Игнатьевич

МПК: H01H 59/00

Метки: планарное, варианты, микрореле, электростатическое

Текст:

...важно, ширины межэлектродного промежутка ,толщиныи длиныдиэлектрического консольного упругого якоря, высоты выступа на свободном конце якоря с подвижным тонкопленочным контактом управляемой цепи. Нанесение токопроводящих металлических тонких пленок на две противоположные или на все четыре поверхности диэлектрического упругого консольного якоря обеспечивает в последнем при температурных перепадах симметричное распределение механических...