G21K 5/00 — Облучающие приборы
Устройство для контактной рентгеновской литографии
Номер патента: 7264
Опубликовано: 30.09.2005
Авторы: КУМАХОВ, Мурадин Абубекирович
МПК: G03B 42/02, G21K 5/00
Метки: устройство, контактной, рентгеновской, литографии
Текст:
...маски и находилась на минимально возможном расстоянии от нее. Между источником 1 и входным торцом полулинзы 2 размещен поглощающий фильтр 6. Поглощающий фильтр 6 представляет собой изделие из поглощающего рентгеновское излучение материала в виде тела вращения относительно оси, совмещенной с продольной осью полулинзы. Толщина поглощающего фильтра 6 минимальна в периферийной его части и увеличивается по мере приближения к центральной части...