G01P 15/125 — с помощью емкостного датчика

Номер патента: U 8079

Опубликовано: 30.04.2012

Авторы: Мухуров Николай Иванович, Ефремов Георгий Игнатьевич, Жвавый Сергей Павлович

МПК: G01P 15/125

Метки: акселерометр, емкостной, трехкоординатный

Текст:

...окно со сторонами, равными сторонам углубления, и в нем параллельно его сторонам расположены четыре якоря, выполненных в форме вытянутых параллелепипедов квадратного сечения. При этом держатели якоря имеют квадратное сечение, расположены под углом 2030 к якорю и соединены со сторонами окна. На рамке размещена пластина, в центральной части которой выполнена квадратная полость, аналогичная углублению в подложке, причем неподвижные...

Номер патента: 10984

Опубликовано: 30.08.2008

Авторы: Гринчук Анатолий Петрович, Акунец Вячеслав Валерьевич, Таратын Игорь Александрович

МПК: G01P 15/125

Метки: акселерометр

Текст:

...недостатком, заключающимся в том, что применение в качестве пластины монокристаллического кремния приводит к необходимости создания на поверхности монокристаллического кремния толстых диэлектрических слоев на основе нитрида кремния с напыленной структурой на поверхности диэлектрика, причем толщина диэлектрика должна быть достаточно большой для снижения паразитных емкостей между чувствительным элементом верхней и нижней пластин конденсатора,...