G01N 21/958 — осмотр прозрачных материалов
Способ интерферометрического контроля оптического элемента с периодической структурой пропускающего типа
Номер патента: 15915
Опубликовано: 30.06.2012
Автор: Ляликов Александр Михайлович
МПК: G01N 21/958, G01N 21/45
Метки: оптического, контроля, типа, периодической, элемента, способ, структурой, интерферометрического, пропускающего
Текст:
...зондирующий световой пучок,например, с помощью лазера и телескопической системы и размещают разнесенные в пространстве контролируемый 1 и эталонный 2 (фиг. 1) элементы по ходу распространения зондирующего светового пучка. Контролируемый 1 и эталонный 2 элементы помечены буквами К и Э соответственно. Систему координатвыберем с центром в середине зондирующего пучка, как показано на фиг. 1. При этом контролируемый 1 и эталонный 2 элементы...