C01B 33/107 — галогензамещенные силаны
Способ получения тетрафторида кремния и устройство для осуществления способа
Номер патента: 15295
Опубликовано: 30.12.2011
Авторы: Степаненко Николай Валерьевич, Степаненко Валерий Николаевич, Матюта Александр Сергеевич, Телущенко Елена Анатольевна, Липай Владимир Анатольевич, Нагула Петр Константинович, Максименко Николай Филиппович
МПК: C01B 33/107
Метки: осуществления, способ, получения, кремния, тетрафторида, устройство, способа
Текст:
...Этот процесс делает очевидными безвозвратные потери энергии на предыдущее разложение 26, уменьшение выхода 4 и загрязнение остатка , который также является востребованным коммерческим продуктом. Весь выделяемый газ 4 поступает в один баллон-конденсатор, что заранее обуславливает получение конечного продукта с загрязняющими включениями. Первые порции тетрафторида кремния, получаемые в процессе термического разложения кремнефторида натрия,...