Патенты с меткой «существования»

Способ определения времени существования зоны расплава на поверхности полупроводниковой кремниевой мишени

Загрузка...

Номер патента: 18209

Опубликовано: 30.06.2014

Авторы: Асташинский Валентин Миронович, Костюкевич Евгений Алексеевич, Кузмицкий Антон Михайлович

МПК: G01J 5/00

Метки: зоны, способ, полупроводниковой, существования, поверхности, определения, мишени, времени, расплава, кремниевой

Текст:

...потоками. 18209 1 2014.06.30 Поставленная задача решается тем, что в способе определения времени существования зоны расплава на поверхности полупроводниковой кремниевой мишени, при котором воздействуют на полупроводниковую мишень высокоэнергетическим плазменным потоком из магнитоплазменного компрессора с образованием над поверхностью мишени интенсивно излучающего ударно-сжатого слоя плазмы, регистрируют долю прошедшего через мишень...