Патенты с меткой «существования»
Способ определения времени существования зоны расплава на поверхности полупроводниковой кремниевой мишени
Номер патента: 18209
Опубликовано: 30.06.2014
Авторы: Асташинский Валентин Миронович, Костюкевич Евгений Алексеевич, Кузмицкий Антон Михайлович
МПК: G01J 5/00
Метки: зоны, способ, полупроводниковой, существования, поверхности, определения, мишени, времени, расплава, кремниевой
Текст:
...потоками. 18209 1 2014.06.30 Поставленная задача решается тем, что в способе определения времени существования зоны расплава на поверхности полупроводниковой кремниевой мишени, при котором воздействуют на полупроводниковую мишень высокоэнергетическим плазменным потоком из магнитоплазменного компрессора с образованием над поверхностью мишени интенсивно излучающего ударно-сжатого слоя плазмы, регистрируют долю прошедшего через мишень...