Патенты с меткой «шаблонов»

Способ контроля дефектности первичных шаблонов

Загрузка...

Номер патента: 9175

Опубликовано: 30.04.2007

Авторы: Аваков Сергей Мирзоевич, Корнелюк Александр Иванович

МПК: G06K 9/00

Метки: шаблонов, способ, контроля, дефектности, первичных

Текст:

...участка, соответствующего просканированному участку ПШ (операция 3). Формируют параметрическую модель эталонного участка ПШ (операция 4). Количество параметров модели определяется как насыщенностью топологии, так и количеством контролируемых характеристик ПШ. Формируют аналогичную параметрическую модель контролируемого участка (операция 5). Производят сравнение соответствующего параметра одной и другой модели и определяют величину разности...

Способ контроля дефектности первичных шаблонов

Загрузка...

Номер патента: 8893

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Корнелюк Александр Иванович, Аваков Сергей Мирзоевич

МПК: G01N 21/00, G06K 9/00

Метки: способ, шаблонов, первичных, контроля, дефектности

Текст:

...и знаку разности определяют тип дефекта и наличие загрязненности на непрозрачных участках первичного ШаблонаИзобретение поясняется чертежом. где представлены эпюры сигналов после операцийСуть способа заключается в следующемСканируют рабочую поверхность ПШ фиг 1 а) и создают первый поток данных(фиг. 1 б). значения которых соответствуют реальному изображению каждого пиксела в проходящем свете. из проектных данных создают второй поток данных...