Патенты с меткой «мдп-транзистора»

Номер патента: 973

Опубликовано: 15.12.1995

Авторы: Красницкий Василий Яковлевич, Довнар Николай Александрович, Смаль Игорь Вацлавович

МПК: H01L 21/335

Метки: изготовления, мдп-транзистора, способ

Текст:

...примеси второго типа проводимости,создание сильнолегированньтх исток-стоковых областей отлил-ом внедрештой примеси, после внедрения в пластину по обе стороны от приставочных областей медленнодиффут-тдирующей примеси второго ттша проводимости, в пластину,в те же области внедряют быстродиффундирующую примесь того же тшта проводимости, и одновременно с созданием сильнолегированньпс исток-стоковых областей диффузией быстродиффундирующей...