Патенты с меткой «фоторезист»

Номер патента: 5806

Опубликовано: 30.12.2003

Авторы: Могильный Владимир Васильевич, Станкевич Александр Ильич

МПК: G03C 1/72

Метки: фоторезист, негативный

Текст:

...экспозиции Н 0,1 и Н 0,9,соответствующие толщине рельефа 0,1 и 0,9 от исходной. Рассчитывают контрастность 0,8/(0,9/0,1). Данные приведены в таблице. Пример 2. Готовят фоторезист, растворяя 1,5 г сополимера с содержанием ФФМ-звеньев 13,5 мас.и 0,1 г ксантона в 18,5 г хлорбензола. Методика определения светочувствительности и контрастности аналогична примеру 1. Данные приведены в таблице. Пример 3. Готовят фоторезист, растворяя 1,5 г...