Интерферометрическое устройство для измерения клиновидности прозрачной пластины

(51) МПК НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ КЛИНОВИДНОСТИ ПРОЗРАЧНОЙ ПЛАСТИНЫ(71) Заявитель Учреждение образования Гродненский государственный университет имени Янки Купалы(72) Автор Ляликов Александр Михайлович(73) Патентообладатель Учреждение образования Гродненский государственный университет имени Янки Купалы(57) Интерферометрическое устройство для измерения клиновидности прозрачной пластины, содержащее осветительную систему, включающую когерентный источник света, оптическую систему формирования зондирующего светового пучка, исследуемую клиновидную пластину, установленную в области зондирующего светового пучка, интерферометр бокового сдвига, телескопическую систему ввода излучения в интерферометр,экран для наблюдения первой и второй интерферограмм исследуемой клиновидной пластины, отличающееся тем, что в плоскости экрана в каждой из областей первой и второй интерферограмм установлены первый и второй фотоприемники, соединенные с электронным блоком регистрации и индикации. Полезная модель относится к устройствам измерения угловых величин с применением интерферометра, в частном случае клиновидности прозрачных пластин, и может быть использована в оптическом приборостроении. Известно устройство для реализации интерферометрического способа определения угла клиновидности прозрачной пластины 1. Данное устройство выбрано в качестве прототипа. Интерферометрическое устройство для измерения клиновидности прозрачных пластин содержит осветительную систему, включающую когерентный источник света,оптическую систему формирования зондирующего светового пучка, исследуемую клино 93502013.08.30 видную пластину, установленную в области зондирующего светового пучка, интерферометр бокового сдвига, телескопическую систему ввода излучения в интерферометр, экран для наблюдения первой и второй интерферограмм исследуемой клиновидной пластины,Недостатком прототипа является значительное влияние субъективной погрешности измерений, возникающей при визуальной настройке оператором на бесконечно широкую полосу в первом и втором изображениях интерферограмм. Техническая задача, на решение которой направлена данная полезная модель, заключается в создании устройства, позволяющего устранить влияния субъективной погрешности измерений, связанной с визуальной настройкой оператором на бесконечно широкую полосу в первом и втором изображениях интерферограмм. Достижение такого результата в полезной модели позволит снизить погрешность измерений угла клина исследуемой пластины. Сущность полезной модели заключается в том, что интерферометрическое устройство для измерения клиновидности прозрачных пластин, содержащее осветительную систему,включающую когерентный источник света, оптическую систему формирования зондирующего светового пучка, исследуемую клиновидную пластину, установленную в области зондирующего светового пучка, интерферометр бокового сдвига, телескопическую систему ввода излучения в интерферометр, экран для наблюдения первой и второй интерферограмм исследуемой клиновидной пластины, дополняют совокупностью новых признаков в плоскости экрана в каждой из областей первой и второй интерферограмм устанавливают первый и второй фотоприемники, которые соединяют с электронным блоком регистрации и индикации. На фигуре приведена оптическая схема интерферометрического устройства для измерения клиновидности прозрачных пластин. Интерферометрическое устройство для измерения клиновидности прозрачных пластин содержит осветительную систему, включающую когерентный источник света 1, поворотное зеркало 2, оптическую систему формирования зондирующего светового пучка,образованную линзами 3 и 4, исследуемую клиновидную пластину 5, установленную в области зондирующего светового пучка, телескопическую систему ввода излучения, образованную линзами 6 и 7, в интерферометр бокового сдвига 8. В плоскости экрана в каждой из областей первой и второй интерферограмм установлены первый 9 и второй 10 фотоприемники, которые соединены с электронным блоком регистрации и индикации 11. Интерферометр бокового сдвига 8 реализует разделение по амплитуде световой волны, поступающей на его вход, на две взаимно когерентные волны, выходящие из интерферометра бокового сдвига 8 и формирующие интерферометрическим способом первое и второе изображения исследуемой пластины в плоскости экрана, где установлены первый и второй фотоприемники 9 и 10. Интерферометр бокового сдвига 8 может быть выполнен на базе широко известного четырехзеркального интерферометра Маха-Цендера. Главной особенностью интерферометра бокового сдвига должна быть возможность осуществления изменения ширины интерференционных полос. В заявляемом устройстве процедура измерений реализуется следующим образом. Посредством когерентного источника света1, зеркала 2 и оптической системы, образованной линзами 3 и 4, формируют зондирующую световую волну, которой освещают исследуемую прозрачную пластину 5. Световую волну, прошедшую исследуемую пластину 5, с помощью телескопической системы, образованной линзами 6 и 7, направляют в интерферометр бокового сдвига 8, посредством которого разделяют по амплитуде световую волну на две взаимно когерентные волны. После разделения по амплитуде световой волны посредством интерферометра бокового сдвига 8 в плоскости экрана на первом фотоприемнике 9 формируют первую, а на втором фотоприемнике 10 вторую интерферограммы исследуемой пластины. Данные интерферограммы разнесены в пространстве. 2 93502013.08.30 Поочередно изменяют ширину интерференционных полос в областях первой и второй интерферограмм до получения бесконечно широкой полосы. Контроль на достижение бесконечно широкой полосы, например, в первой интерферограмме реализуют первым фотоприемником 9, который преобразует оптический сигнал в электрический, поступающий в электронный блок регистрации и индикации 11. Контроль на достижение бесконечно широкой полосы во второй интерферограмме реализуют вторым фотоприемником 10,который преобразует оптический сигнал в электрический, поступающий в электронный блок регистрации и индикации 11. Таким образом, достижение бесконечно широкой полосы в полезной модели достигается без участия оператора, и тем самым исключается субъективная погрешность измерений, связанная с настройкой полос в интерферограммах. Таким образом, совокупность существенных признаков полезной модели позволяет решить задачу по устранению влияния субъективной погрешности измерений, связанной с визуальной настройкой оператором на бесконечно широкую полосу в первом и втором изображениях интерферограмм. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3