Микрообъектив с увеличением 150x

(51) МПК (2006) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ(71) Заявитель Государственное научнопроизводственное объединение точного машиностроения Планар(72) Авторы Басалаев Сергей Петрович Псикова Людмила Павловна Растворова Ирина Валентиновна(73) Патентообладатель Государственное научно-производственное объединение точного машиностроения Планар(57) Микрообъектив с увеличением 150 х, содержащий шесть компонентов, расположенных вдоль оптической оси, причем первый компонент - положительная одиночная линза, второй компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из положительной линзы и отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, третий компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска,обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы, четвертый компонент - двухсклеенная линза, пятый компонент - положительная двухсклеенная линза, шестой компонент - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из положительного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и отрицательного мениска,отличающийся тем, что в него дополнительно введены два компонента - две отрицательные двухсклеенные линзы, расположенные последовательно между пятым и шестым компонентами на расстоянии, равном 0,53 и 6,42 соответственно, где- фокусное расстояние объектива, причем первая из них состоит из положительного и отрицательного менисков, обращенных выпуклостью к плоскости предметов, а вторая - из отрицательного мениска, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, и отрицательной двояковогнутой линзы, четвертый компонент - положительный, а пятый компонент состоит из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы. 42742008.04.30 Полезная модель относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в микроскопах для анализа изображения. Известен микрообъектив, предназначенный для аналогичных целей 1. Объектив работает с увеличением 150 х, апертурой 0,95, состоит из восьми компонентов, содержащих тринадцать линз. Недостатком объектива является малый рабочий отрезок, равный 0,4 мм. Наиболее близким прототипом является микрообъектив 2 с увеличением 100 х. Объектив состоит из шести компонентов, содержащих одиннадцать линз. Первый компонент - положительная одиночная линза. Второй компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из положительной линзы и отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов. Третий компонент положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы. Четвертый компонент отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной и положительной линз. Пятый компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из двух отрицательных менисков, обращенных выпуклостью к плоскости предметов. Шестой компонент отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из положительного мениска, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, и отрицательной линзы. Прототип рассчитан на область длин волн 486-656 нм, с апертурой 0,9 и линейным полем зрения 0,2 мм. Недостатками объектива являются недостаточное поле зрения и небольшой рабочий отрезок, равный 0,3 мм, и малое увеличение. Задачей полезной модели является увеличение поля зрения и увеличение рабочего отрезка объектива, повышение увеличения. Поставленная задача достигается тем, что предлагаемый микрообъектив содержит шесть компонентов, расположенных вдоль оптической оси, причем первый компонент положительная одиночная линза, второй компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из положительной линзы и отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, третий компонент - положительная двухсклеенная линза,состоящая из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов,и положительной линзы, четвертый компонент - двухсклеенная линза, пятый компонент положительная двухсклеенная линза, шестой компонент - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из положительного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и отрицательного мениска, отличающийся тем, что в него дополнительно введены два компонента - две отрицательные двухсклеенные линзы, расположенные последовательно между пятым и шестым компонентами на расстоянии, равном 0,53 и 6,42 соответственно, где- фокусное расстояние объектива, причем первая из них состоит из положительного и отрицательного менисков, обращенных выпуклостью к плоскости предметов, а вторая - из отрицательного мениска, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, и отрицательной двояковогнутой линзы, четвертый компонент - положительный, а пятый компонент состоит из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы. Объектив имеет преимущество перед прототипом поле зрения, равное 0,153 мм, увеличенный рабочий отрезок, равный 0,612 мм, увеличение 150 х. Суть полезной модели поясняется чертежом, где приведена схема объектива. Микрообъектив содержит пятнадцать линз, собранных в восемь компонентов, расположенных вдоль оптической оси. Первый компонент - положительный одиночный мениск 1, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, выполненный из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1,071. Второй компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из положительной двояковыпуклой линзы 2 и отрицательного мениска 3, обращенного выпуклостью к 2 42742008.04.30 плоскости предметов, выполненных из фтористого кальция и особого флинта соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,2191,разность коэффициентов дисперсий - 46,76, а соотношение наружных радиусов - 5,971. Третий компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска 4, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы 5, выполненных из особого флинта и фтористого кальция соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,2191, разность коэффициентов дисперсий - 46,76, а соотношение наружных радиусов - 2,391. Четвертый компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска 6, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы 7, выполненных из особого флинта и фтористого кальция соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,2191, разность коэффициентов дисперсий - 46,76, а соотношение наружных радиусов - 3,061. Пятый компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска 8, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы 9, выполненных из крона и фтористого кальция соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,0833, разность коэффициентов дисперсий - 26,17, а соотношение наружных радиусов - 62,521. Шестой компонент - отрицательная двухсклеенная линза, расположенная на расстоянии, равном 0,53, от пятого компонента, где- фокусное расстояние объектива, состоящая из положительного мениска 10, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и отрицательного мениска 11, выполненных из крона и тяжелого флинта соответственно,разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,1339, разность коэффициентов дисперсий - 30,21, а соотношение наружных радиусов - 1,841. Седьмой компонент - отрицательная двухсклеенная линза, расположенная на расстоянии, равном 6,42, от пятого компонента, где- фокусное расстояние объектива, состоящая из отрицательного мениска 12, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, и отрицательной двояковогнутой линзы 13, выполненных из тяжелого флинта и крона соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,2049, разность коэффициентов дисперсий - 34,54, а соотношение наружных радиусов 1,6981. Восьмой компонент - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из положительного мениска 14, обращенного вогнутостью к плоскости предметов и отрицательного мениска 15, выполненных их тяжелого флинта и сверхтяжелого крона соответственно,разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,0014, разность коэффициентов дисперсий - 22,26, а соотношение наружных радиусов - 1,261. Объектив имеет высокую степень коррекции аберраций для области спектра 486656 нм. Увеличение объектива 150 х, апертура 0,9, линейное поле зрения 0,153 мм, рабочий отрезок 0,612 мм. Предложенный объектив найдет применение в области исследований и визуального контроля полупроводниковых пластин, фотошаблонов и др. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3