Микрообъектив с увеличением 100x

(51) МПК (2006) НАЦИОНАЛЬНЫЙ ЦЕНТР ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ(71) Заявитель Государственное научнопроизводственное объединение точного машиностроения Планар(72) Авторы Басалаев Сергей Петрович Псикова Людмила Павловна Растворова Ирина Валентиновна(73) Патентообладатель Государственное научно-производственное объединение точного машиностроения Планар(57) Микрообъектив с увеличением 100 х, содержащий шесть компонентов, расположенных вдоль оптической оси, причем первый компонент - одиночная положительная линза, второй компонент - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, третий компонент - одиночная положительная линза, четвертый компонент отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной и положительной линзы, пятый компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы,шестой - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной линзы и положительного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, отличающийся тем, что он содержит две положительные и одну отрицательную двухсклеенные линзы,расположенные последовательно за пятым компонентом на расстоянии, равном 0,05,3,4 и 7 (где- фокусное расстояние объектива) соответственно, причем обе положительные двухсклеенные линзы состоят из положительной двояковыпуклой и отрицательной линзы, а отрицательная двухсклеенная линза - из положительной двояковыпуклой и отрицательной двояковогнутой линзы. 42242008.02.28 Полезная модель относится к оптическим системам и может найти применение в микроэлектронике в микроскопах для анализа изображения. Известен микрообъектив, предназначенный для аналогичных целей 1. Объектив работает с увеличением 100 х, апертурой 0,9, состоит из шести компонентов, содержащих одиннадцать линз. Недостатком объектива является малый рабочий отрезок, равный 0,33 мм. Наиболее близким прототипом является микрообъектив 2 с увеличением 100 х. Объектив состоит из шести компонентов, содержащих одиннадцать линз. Первый компонент - положительная одиночная линза. Второй компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы. Третий компонент положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы. Четвертый компонент - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной и положительной линзы. Пятый компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из двух отрицательных менисков, обращенных выпуклостью к плоскости предметов. Шестой компонент отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из положительного мениска, обращенного вогнутостью к плоскости предметов, и отрицательной линзы. Прототип рассчитан на область длин волн 486-656 нм, с апертурой 0,9 и линейным полем зрения 0,2 мм. Недостатком объектива является недостаточное поле зрения и малый рабочий отрезок,равный 0,3 мм. Задачей полезной модели является увеличение поля зрения и увеличение рабочего отрезка объектива. Поставленная задача достигается тем, что предлагаемый микрообъектив содержит шесть компонентов, расположенных вдоль оптической оси, причем первый компонент одиночная положительная линза, второй компонент - положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, третий компонент - одиночная положительная линза, четвертый компонент - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной и положительной линзы, пятый компонент - положительная двухсклеенная линза,состоящая из отрицательного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов,и положительной линзы, шестой - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной линзы и положительного мениска, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, отличающийся тем, что он содержит две положительные и одну отрицательную двухсклеенные линзы, расположенные последовательно за пятым компонентом на расстоянии, равном 0,05, 3,4 и 7(где- фокусное расстояние объектива) соответственно, причем обе положительные двухсклеенные линзы состоят из положительной двояковыпуклой и отрицательной линзы, а отрицательная двухсклеенная линза - из положительной двояковыпуклой и отрицательной двояковогнутой линзы. Объектив имеет преимущество перед прототипом поле зрения, равное 0,23 мм, и увеличенный рабочий отрезок, равный 4,2 мм. Суть полезной модели поясняется чертежом, где приведена схема объектива. Микрообъектив содержит пятнадцать линз, собранных в девять компонентов, расположенных вдоль оптической оси. Первый компонент - положительная линза 1, обращенная вогнутой поверхностью к плоскости предметов, выполнена из тяжелого крона с соотношением радиусов 1,881. Второй компонент - положительный мениск 2,обращенный вогнутой поверхностью к плоскости предметов, выполнен из тяжелого крона с соотношением радиусов 1,731. Третий компонент - положительная линза 3, выполненная из фтористого кальция с соотношением радиусов 1,381. 2 42242008.02.28 Четвертый компонент - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной линзы 4 и положительной линзы 5, выполненных из тяжелого флинта и фтористого кальция соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент,составляет 0,2172, разность коэффициентов дисперсий 61,2, а соотношение наружных радиусов 1,51. Пятый компонент - положительная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательного мениска 6, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, и положительной линзы 7, выполненных из особого флинта и фтористого кальция соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,2191, разность коэффициентов дисперсий 51,56, а соотношение наружных радиусов 1,21. Шестой компонент - положительная двухсклеенная линза, расположенная на расстоянии, равном 0,05 от пятого компонента (где- фокусное расстояние объектива), состоящая из положительной двояковыпуклой линзы 8 и отрицательной линзы 9,выполненных из фтористого кальция и сверхтяжелого крона соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,3126, разность коэффициентов дисперсий 44,59, а соотношение наружных радиусов 16,181. Седьмой компонент - положительная двухсклеенная линза, расположенная на расстоянии, равном 3,4 от пятого компонента (где- фокусное расстояние объектива),состоящая из положительной двояковыпуклой линзы 10 и отрицательной линзы 11,выполненных из фтористого кальция и сверхтяжелого крона соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,2272, разность коэффициентов дисперсий 37,7, а соотношение наружных радиусов 10,568. Восьмой компонент - отрицательная двухсклеенная линза, расположенная на расстоянии, равном 7 от пятого компонента (где- фокусное расстояние объектива), состоящая из положительной двояковыпуклой линзы 12 и отрицательной двояковогнутой линзы 13,выполненных их тяжелого флинта и тяжелого крона соответственно, разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,1312, разность коэффициентов дисперсий 31,77, а соотношение наружных радиусов 2,971. Девятый компонент - отрицательная двухсклеенная линза, состоящая из отрицательной линзы 14 и положительного мениска 15, обращенного выпуклостью к плоскости предметов, выполненных из сверхтяжелого крона и фтористого кальция соответственно,разность показателей преломления линз, входящих в компонент, составляет 0,3126, разность коэффициентов дисперсий 44,59, а соотношение наружных радиусов 11,48. Объектив имеет высокую степень коррекции аберраций для области спектра 486656 нм. Увеличение объектива 100 х, апертура 0,7, линейное поле зрения 0,23 мм, рабочий отрезок 4,2 мм. Предложенный объектив найдет применение в области исследований визуального контроля полупроводниковых пластин, фотошаблонов и др. Национальный центр интеллектуальной собственности. 220034, г. Минск, ул. Козлова, 20. 3