Сердюков Анатолий Николаевич
Способ разделения резкой кристаллического кремния под действием термоупругих напряжений
Номер патента: 16483
Опубликовано: 30.10.2012
Авторы: Никитюк Юрий Валерьевич, Шалупаев Сергей Викентьевич, Сердюков Анатолий Николаевич, Шолох Владимир Федорович
МПК: C03B 33/02, B28D 5/00, C03B 33/09...
Метки: кремния, напряжений, способ, термоупругих, резкой, разделения, действием, кристаллического
Текст:
...перемещении лазерного пучка и кремния и локальное охлаждение зоны нагрева хладагентом,перед выбором интенсивности нагрева определяют значение модуля Юнга , ГПа, в 2 16483 1 2012.10.30 направлении, перпендикулярном плоскости разделения, интенсивность нагрева выбирают пропорционально модулю Юнга , ГПа, в направлении, перпендикулярном плоскости разделения, причем соотношение скорости относительного перемещения лазерного пучка и кремния , м/с, и...