Олешко Павел Романович

Активатор установки для обработки пленки на основе полиимида в барьерном разряде

Загрузка...

Номер патента: U 1852

Опубликовано: 30.03.2005

Авторы: Казаченко Виктор Павлович, Егоров Александр Иванович, Овчинников Валерий Александрович, Рогачев Александр Владимирович, Олешко Павел Романович, Селицкая Ирина Артуровна, Кандыба Александр Леонидович

МПК: H01T 19/00, B01J 19/08

Метки: полиимида, установки, активатор, пленки, обработки, барьерном, основе, разряде

Текст:

...диэлектрической проницаемости среды, что приводит к угасанию активационного разряда на концах и концентрации его в зоне обработки.Такой же технический эффект достигается за счет того, что концы плоского электрода искривлены под углом ос (10-45) к поверхности цилиндрического электрода и повернуты от него, что установлено экспериментально.Поворот на угол менее 10 и более 45 не дает дополнительных приращений технического результата.Совместное...