Карпенко Александр Валерьевич

Способ измерения диэлектрической проницаемости тонкослойных материалов

Загрузка...

Номер патента: 6683

Опубликовано: 30.12.2004

Авторы: Борисов Василий Иванович, Карпенко Александр Валерьевич, Борисов Александр Васильевич

МПК: G01R 27/26, G01N 22/00

Метки: диэлектрической, способ, измерения, тонкослойных, материалов, проницаемости

Текст:

...способ поясняется чертежами. На фиг. 1 приведена схема реализации способа. На фиг. 2 приведена схема, поясняющая расчет диэлектрической проницаемости. СВЧ излучение от генератора 1 по металлическому волноводу 2 распространяется к рупорной антенне 3, после которой оно попадает на делительное устройство 4, которое делит падающее СВЧ излучение на два пучка. Делительное устройство 4 и два металлических зеркала 5 и 6, полностью отражающие...