H01J 37/08 — источники ионов; ионные пушки

Ионный источник

Загрузка...

Номер патента: 15032

Опубликовано: 30.10.2011

Авторы: Новицкий Николай Николаевич, Стогний Александр Иванович, Пашкевич Михаил Викторович, Труханов Алексей Валентинович

МПК: H01J 27/02, H01J 27/00, H01H 1/00...

Метки: ионный, источник

Текст:

...и изолятор 10 между дополнительным электродом 7 и фланцем 9. Со стороны анода 1 полый катод 2 закрыт фланцем 9 с осевым контрагирующим отверстием 11, в которое введен анод 1, а в зазор(на фигурах не показано) контрагирующего отверстия 11, образованного фланцем полого катода и анодом, помещен керамический изолятор 12. Внутри полого катода 2 расположена осесимметричная внутренняя магнитная система 13, снабженная корпусом 14. Внешняя магнитная...