H01J 3/04 — ионные пушки
Плазменный источник электронов с пучком большого сечения
Номер патента: U 469
Опубликовано: 30.03.2002
Авторы: Голубев Юрий Петрович, Груздев Владимир Алексеевич, Залесский Виталий Геннадьевич
МПК: H01J 3/04
Метки: сечения, большого, источник, плазменный, электронов, пучком
Текст:
...состоящем из газоразрядной камеры, которая включает в себя два катода, анод и постоянные магниты,и из формирователя-расширителя с эмиттерным сеточным электродом, в отличие от прототипа эмиттерный электрод выполнен в виде двух эквипотенциальных сеток с расстоянием между ними, равным 0,8-2 размера ячейки сетки, т.е. в источнике применена новая двухсеточная схема стабилизации эмитирующей плазменной поверхности. На фигуре представлен заявляемый...
Плазменный источник электронов
Номер патента: U 220
Опубликовано: 30.12.2000
Авторы: Залесский Виталий Геннадьевич, Груздев Владимир Алексеевич
МПК: H01J 3/04
Метки: электронов, источник, плазменный
Текст:
...при сравнительно невысоких ускоряющих напряжениях и усугубляется с повышением давления. Основной задачей полезной модели является расширение диапазона рабочих давлений, в котором параметры электронного пучка остаются устойчивыми, в область повышенных значений и тем самым значительное увеличение области технологического применения источника. Поставленная задача решается тем, что в плазменном источнике электронов, включающем размещенные...