H01F 41/14 — для нанесения магнитных пленок на подложки

Способ получения тонкой пленки феррита стронция SrFeO3-(

Загрузка...

Номер патента: 13505

Опубликовано: 30.08.2010

Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Голосов Дмитрий Анатольевич

МПК: H01F 41/14

Метки: srfeo3, феррита, стронция, способ, тонкой, пленки, получения

Текст:

...кристаллизации пленки от парциального давления инертных газов, при которых осуществляется напыление пленки. Задачей настоящего изобретения является упрощение и удешевление способа получения тонких пленок феррита стронция, обеспечение возможности проведения синтеза в условиях контроля процесса получения пленок 3-, улучшения их магнитных, магниторезистивных характеристик, уменьшение экономических затрат (отсутствие дополнительного отжига) и...