H01F 41/14 — для нанесения магнитных пленок на подложки
Способ получения тонкой пленки феррита стронция SrFeO3-(
Номер патента: 13505
Опубликовано: 30.08.2010
Авторы: Каланда Николай Александрович, Гурский Леонид Ильич, Голосов Дмитрий Анатольевич
МПК: H01F 41/14
Метки: srfeo3, феррита, стронция, способ, тонкой, пленки, получения
Текст:
...кристаллизации пленки от парциального давления инертных газов, при которых осуществляется напыление пленки. Задачей настоящего изобретения является упрощение и удешевление способа получения тонких пленок феррита стронция, обеспечение возможности проведения синтеза в условиях контроля процесса получения пленок 3-, улучшения их магнитных, магниторезистивных характеристик, уменьшение экономических затрат (отсутствие дополнительного отжига) и...