G03F 7/16 — процессы нанесения покрытий; устройства для этих целей
Способ получения металлических рисунков с низким коэффициентом отражения
Номер патента: 15101
Опубликовано: 30.12.2011
Авторы: Свиридов Дмитрий Вадимович, Соколов Валерий Георгиевич
МПК: G03F 7/16, C23C 18/36
Метки: коэффициентом, способ, рисунков, металлических, получения, отражения, низким
Текст:
...с последующим травлением в растворе, содержащем азотную кислоту, хлорид палладия,азотнокислый висмут и воду при следующем соотношении компонентов, мас.25-30 3 (конц.) 2 0,1-0,2(3)3 0,5-1,0 2 остальное. Указанная обработка обеспечивает как достижение низкого коэффициента отражения со стороны поверхности покрытия, так и увеличение глубины почернения обратного контакта за счет ингибирования процесса травления никелевого покрытия со стороны...