G02B 6/293 — со средствами для выбора длины волны

Номер патента: 9483

Опубликовано: 30.06.2007

Авторы: Кулешов Владимир Константинович, Есман Александр Константинович, Гончаренко Игорь Андреевич, Пилипович Владимир Антонович

МПК: G02B 6/293

Метки: микрорезонаторный, переключатель, оптический

Текст:

...входной волновод 1 и выходные волноводы 2, 5 изготовлены в виде волноводов из узкозонного полупроводника(арсенид галлия) шириной 0,7 мкм и толщиной 0,5 мкм, выполненных на подложке изс буферным широкозонным полупроводниковым слоем(арсенида алюминия-галлия) толщиной 1,2 мкм, в котором часть атомов галлия замещена атомами алюминия. Для задания симметричного распределения поля на поверхности входного 1 и выходных волноводов 2, 5 выполнен...