G01Q 40/00 — Калибровка, например зондов
Способ и устройство для определения радиуса закругления острия зонда сканирующего зондового микроскопа
Номер патента: 17144
Опубликовано: 30.06.2013
Авторы: Циркунова Наталья Григорьевна, Борисенко Виктор Евгеньевич
МПК: G01Q 40/00
Метки: закругления, микроскопа, зондового, острия, способ, устройство, определения, сканирующего, радиуса, зонда
Текст:
...материалов. Изобретение поясняется приведенными чертежами фиг. 1. - общий вид структуры фиг. 2. - схематическое изображение предлагаемой тестовой структуры в режиме измерения латеральных сил или фазового контраста а) общий 3-вид б) сечение фиг. 3 - демонстрация принципа действия. В предлагаемом нами решении создается шкала путем формирования многослойной пирамидальной или конусообразной структуры из различных материалов, различаемых в...