G01L 23/10 — с помощью элементов пьезоэлектрического типа, чувствительных к давлению

Номер патента: 8405

Опубликовано: 30.08.2006

Авторы: Босак Николай Александрович, Чумаков Александр Никитич

МПК: G01L 23/10

Метки: давления, импульсного, датчик, плазмы

Текст:

...является создание датчика импульсного давления плазмы, обладающего высокой точностью измерения давления за счет минимизации сигнала помехи, обусловленной возникновением на мишени электрических потенциалов при ее контакте с плазмой, особенно значительных в условиях образования приповерхностной лазерной плазмы. Для решения поставленной задачи предложен датчик импульсного давления плазмы,содержащий последовательно соединенные изолирующий...