G01B 11/12 — отверстий
Способ измерения диаметра протяженных отверстий
Номер патента: 7225
Опубликовано: 30.09.2005
Авторы: Ильин Виктор Николаевич, Дубешко Александр Викторович
МПК: G01B 11/12
Метки: измерения, отверстий, протяженных, диаметра, способ
Текст:
...11 - второй источник излучения, 12 - вторая телескопическая система 1 2 3 соответственно направление перемещения линз телескопических систем 3, 12 и зеркала 71, ,2 - максимумы заданного порядка для выбранных длин волн 1 и 2 пунктирными линиями обозначены новые положения зеркала при его перемещении. На фиг. 2 схематично показано продольное сечение протяженного отверстия и способ его освещения, где А, В - входная и выходная плоскости...
Способ измерения диаметра протяженных отверстий
Номер патента: 7106
Опубликовано: 30.06.2005
Автор: Ильин Виктор Николаевич
МПК: G01B 11/12
Метки: способ, отверстий, диаметра, протяженных, измерения
Текст:
...расстояние между соседними максимумами (п 2) и(п 1) от входной плоскости отверстия АХ (АХ 23 - Н) - вычисляемое расстояние междупорядком, сформированным от входной плоскости (п 1), И порядком (п), сформированным от выходной плоскости отверстия АХ 23 - измеряемое расстояние между (п 1) порядком, сформированным от входной плоскости, и порядком (п), сформированным от выходной плоскости отверстия.Способ реализован следующим образом....
Способ измерения диаметра отверстий
Номер патента: 6564
Опубликовано: 30.09.2004
Автор: Ильин Виктор Николаевич
МПК: G01B 11/12
Метки: измерения, диаметра, отверстий, способ
Текст:
...в следующем виде(21) 2 где х- - расстояние между дифракционными максимумами интенсивности выделенного порядка. Минимальная величина дисперсии --или расстояния между спектральными линиями определяется разрешающей способностью фотодиодной линейки. В сравнении с прототипом, где радиус отверстия находится по одной , и трем последовательным минимумов , 1, 2 (или максимумов - формулы одинаковые), предложенный способ обеспечивают существенно более...