Денисюк Сергей Валентинович
Адсорбционно-резистивный газовый сенсор
Номер патента: U 10187
Опубликовано: 30.06.2014
Авторы: Мухуров Николай Иванович, Куданович Олег Николаевич, Денисюк Сергей Валентинович
МПК: G01N 27/12
Метки: адсорбционно-резистивный, сенсор, газовый
Текст:
...счет использования новых чувствительных материалов на основе сложных оксидов железа. Решение поставленной задачи достигается тем, что адсорбционно-резистивный газовый сенсор, содержащий диэлектрическую подложку с отделенной от нее сквозной перфорацией рабочей областью, в которой на одной из сторон диэлектрической подложки сформирована тонкопленочная встречно-штыревая система информационных электродов,связанная с контактными площадками...
Адсорбционно-резистивный газовый сенсор
Номер патента: U 10166
Опубликовано: 30.06.2014
Авторы: Куданович Олег Николаевич, Денисюк Сергей Валентинович, Мухуров Николай Иванович
МПК: G01N 27/12
Метки: газовый, сенсор, адсорбционно-резистивный
Текст:
...пленкой чувствительного материала, на обратной стороне диэлектрической подложки в рабочих областях сформированы два нагревательных элемента с разной толщиной пленки меандра,соединенные последовательно между собой и контактными площадками нагревательных элементов токопроводящими дорожками, причем толщина пленки 1 первого нагревательного элемента определяется из формулы 1(1)/,а толщина пленки 2 второго нагревательного элемента - из формулы...