B01D 53/22 — диффузией

Номер патента: 8886

Опубликовано: 28.02.2007

Авторы: Григоришин Иван Леонтьевич, Войтик Ольга Леонидовна, Делендик Кирилл Иванович

МПК: B01D 71/02, B01D 53/22

Метки: получения, мембранных, способ, водорода, фильтров, тонкопленочных

Текст:

...основан на групповых процессах, используемых в технологии микроэлектроники,что в значительной степени повыщает воспроизводимость параметров конечного изделия.Полученный тонкопленочный мембранный фильтр водорода показан на фигуре.Способ реализуют следующей последовательностью операций. Пластину алюминия подвергают процессу толстослойного электрохимического окисления. На поверхности анодного оксида алюминия формируют защитную двухслойную...