Патенты с меткой «эллипсометр»

Номер патента: 14833

Опубликовано: 30.10.2011

Автор: Меркулов Владимир Сергеевич

МПК: G01N 21/21

Метки: сканирующий, эллипсометр

Текст:

...плоскости с помощью устройства 6,светоделительная пластинка 7, анализатор 8, фотоприемник 9 и диафрагма 11. Компьютер 10 служит для обработки результатов измерений в реальном времени. Диафрагма 11 используется для ограничения размера пятна света на поверхности образца в режиме микроскопии ближнего поля. Предпочтительно, но не принципиально, чтобы элементы матричного фотоприемника располагались на концентрических окружностях, как это показано...