Патенты с меткой «ассистированием»
Устройство для формирования многослойного покрытия с ионным ассистированием
Номер патента: U 6285
Опубликовано: 30.06.2010
Авторы: Макаревич Евгений Петрович, Мойсейчик Анатолий Николаевич, Андреев Михаил Анатольевич, Суворов Анатолий Николаевич
МПК: C23C 14/00
Метки: ассистированием, покрытия, многослойного, формирования, ионным, устройство
Текст:
...камере 1 установки вакуумного напыления размещены источник ионов 2 с управляемым посредством электродвигателя 4 фокусирующим катодом 3. К верхнему поворотному столу 14 прикреплен мульти-пластинный узел, состоящий из симметрично расположенных распыляемых пластин-мишеней 9, связанных при помощи подвижных шарниров 5 с валом 13 верхнего поворотного стола 14 установки. Верхний поворотный стол 14 с мульти-пластинным узлом, закрепленным на валу 13,...